双压电体并排推动的三摩擦力步进器与扫描探针显微镜

摘要

本发明双压电体并排推动的三摩擦力步进器与扫描探针显微镜涉及压电定位器，包括两个压电体、基座、滑杆，两压电体以伸缩方向平行的设置并排地固定站立于基座上，设置与两压电体在其伸缩方向上为滑动配合的滑杆，在垂直于两压电体伸缩方向上设置将滑杆与两压电体自由端以及滑杆与基座相压的正压力，在这三个正压力对滑杆产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个之和，滑杆通过弹性力或电磁力与基座以及两压电体自由端相压，两压电体可为整体设置，在所述步进器之外套一个固定于基座上的压电扫描管就构成小空间可工作扫描探针显微镜镜体。本发明尺寸小、结构简单牢固、工作温区大、驱动力大，适于各种极端物理条件，接近理想步进器。

主权项

一种双压电体并排推动的三摩擦力步进器，包括两个压电体、基座、滑杆，其特征是所述两压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于基座上，设置与两压电体在其伸缩方向上为滑动配合的滑杆，在垂直于两压电体伸缩方向上设置将滑杆与两压电体自由端相压的正压力以及将滑杆与基座相压的正压力，在这三个正压力对滑杆产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。