IC塑封模内压力监测控制产品质量的方法及其设备

摘要

本发明涉及半导体器件领域，具体地是一种IC塑封模内压力监测控制产品质量方法及其设备，包括模具调试阶段的工艺数据采集、分析和优化、设定功能的实现过程及产品生产阶段的工艺监控功能的实现过程，其特征在于所述模具调试阶段和产品生产阶段中的工艺数据为每个模内型腔压力传感器测得的实际型腔压力值；本发明有益效果：将高精度压力传感器技术与计算机技术结合在一起，将其应用到IC塑封工艺中直接监测每个塑封型腔中压力的变化，弥补了以往只能通过控制液压系统压力来间接控制型腔压力的不足，可以大大改善塑封工艺控制的精度，降低众多型腔间熔料压力的不平衡程度，减小对金丝和芯片的冲击，减少产品内应力，提高产品使用寿命和合格率。

主权项

一种用于IC塑封模内压力监测控制产品质量的设备，包括IC塑封模具以及工艺监控装置，所述工艺监控装置包括压力控制器、数据记录控制系统、数据处理系统、监视显示屏，数据记录控制系统的输出端连接数据处理系统，数据处理系统的输出端分别连接压力控制器、监视显示屏，其特征在于：在IC塑封模具的每个型腔内设置压力传感器，压力传感器的输出端连接工艺监控装置，所述IC塑封模具为带有顶杆式模内压力监控器的IC塑封模具。