SOG结构微热管及其制作方法

摘要

本发明提供了SOG(Silicon on Glass)微热管及其制作方法。结构以硅片作为衬底，以有机玻璃作为覆盖片，两者通过静电键合封接在一起形成封闭结构，然后由硅片上预留的小孔进行充液，并对此充液孔进行真空封闭，形成腔体内部填充有一定工质的微型平板热管结构。由于玻璃丝的存在既可以减小气液界面弯月面的半径，又能够增加沟槽内尖角区的数量，从而提高了工质回流的毛细力。覆盖片采用玻璃片，增强了可视性，可以对微热管的工作状态进行实时的观察和监控，在玻璃上刻蚀矩形腔，作为饱和蒸汽的流通空间。此连通的蒸汽流通空间可以减弱汽-液分界面上由于蒸汽流和液体流高速反向运动带来的剪切摩擦力，从而提高热管的携带极限，最终增加热管的最大传热量。

主权项

一种SOG结构微热管，其特征在于SOG结构微热管的组成包括硅片衬底、覆盖片和玻璃丝三个主要部分，硅片衬底上设置有沟槽，沟槽中放置平直的玻璃丝，覆盖片通过刻蚀形成一个与各条沟槽空腔连通的蒸汽腔，硅片衬底和覆盖片通过静电键合结合在一起，硅片衬底的一角设置有一个由激光打出的微孔；所述的微孔作为充液的进液孔；所述的沟槽的截面为非圆形的截面结构；所述的覆盖片为有机玻璃盖片。