发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明的目的在于通过减小半导体膜与电极和连线的接触电阻,提高半导体膜和电极或连线的覆盖率,得到性能提高的半导体器件。本发明涉及半导体器件,包括:衬底上方的栅电极,栅电极上方的栅绝缘膜,栅绝缘膜上方的第一源或漏电极,第一源或漏电极上方的岛状半导体膜,第一源或漏电极和岛状半导体膜上方的第二源或漏电极。此外,第二源或漏电极与第一源或漏电极接触,岛状半导体膜夹在第一源或漏电极和第二源或漏电极之间。此外,本发明涉及半导体器件的制造方法。
申请公布号 CN101278403B 申请公布日期 2010.12.01
申请号 CN200680036407.3 申请日期 2006.10.03
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 本田达也
分类号 H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 郭放
主权项 一种半导体器件,包括:衬底上方的栅电极;栅电极上方的栅绝缘膜;栅绝缘膜上方的第一源或漏电极;第一源或漏电极上方的岛状半导体膜;和岛状半导体膜和第一源或漏电极上方的第二源或漏电极,其中,第二源或漏电极的一部分与第一源或漏电极直接接触;其中,岛状半导体膜夹在第一源或漏电极和第二源或漏电极之间;并且其中,岛状半导体膜的边缘被覆盖有第一源或漏电极和第二源或漏电极。
地址 日本神奈川