液氩储槽废气回收装置

摘要

本实用新型公开了一种液氩储槽废气回收装置，包括粗氩I塔、粗氩II塔、液化塔、精氩塔、纯氩罐和高纯氩罐；其特征在于：所述纯氩罐顶端引出一回流管道，回流管道上依次设置有纯氩罐回气阀和纯氩罐压力控制单向阀；所述高纯氩罐顶端引出一回流管道，回流管道上依次设置有高纯氩罐回气阀和高纯氩罐压力控制单向阀；所述纯氩罐和高纯氩罐引出的回流管道相连通后经氩系统停车保护连锁阀后与粗氩II塔的进口管道相连通；所述纯氩罐上还设置有纯氩罐放空阀，高纯氩罐上还设置有高纯氩罐放空阀。该液氩储槽废气回收装置不仅具有结构简单、制作成本低、安全性好、操作使用方便等优点，能更好的解决现有技术中真空储罐压力控制的问题。

主权项

一种液氩储槽废气回收装置，包括粗氩I塔(1)、粗氩II塔(3)、液化塔(4)、精氩塔(5)、纯氩罐(12)和高纯氩罐(13)；所述粗氩I塔(1)、粗氩II塔(3)、液化塔(4)、精氩塔(5)、纯氩罐(12)和高纯氩罐(13)自左而右依次连通；其特征在于：所述纯氩罐(12)顶端引出一回流管道，回流管道上依次设置有纯氩罐回气阀(6)和纯氩罐压力控制单向阀(7)；所述高纯氩罐(13)顶端引出一回流管道，回流管道上依次设置有高纯氩罐回气阀(9)和高纯氩罐压力控制单向阀(10)；所述纯氩罐(12)和高纯氩罐(13)引出的回流管道相连通后经氩系统停车保护连锁阀(2)后与粗氩二号塔(3)的进口管道相连通；所述纯氩罐(12)上还设置有纯氩罐放空阀(8)，高纯氩罐(13)上还设置有高纯氩罐放空阀(11)。