具有高维持电压的SCR ESD保护结构

摘要

一种具有高维持电压的静电放电防护SCR结构，该结构包含P型衬底，在P型衬底上设有N型阱和P型阱区域，N型阱和P型阱区域相互交叠形成另一低掺杂区域，在N型阱中设有第一N+掺杂区和第一P+掺杂区，第一N+掺杂区和第一P+掺杂区通过接触孔引出并连接在一起，作为器件的阳极，在P型阱中有第二N+掺杂区和第二P+掺杂区，第二N+掺杂区和第二P+掺杂区通过接触孔引出并连接在一起，作为器件的阴极。SCR结构便由N型阱中的P+掺杂区，N型阱区域，P型阱区域，P型阱中的N+掺杂区构成，它通过N型阱和P型阱相互交叠所形成的低掺杂区域来增加维持状态下的电阻，从而增加了维持电压。

主权项

一种具有高维持电压的静电放电防护SCR结构，形成于一器件上，所述器件包括：P型衬底(40)，在所述P型衬底(40)上设有N型阱(41)和P型阱(42)，所述N型阱(41)和所述P型阱(42)相互交叠并形成交叠区域(48)，在所述N型阱(41)中设有N+掺杂区(43)和P+掺杂区(44)，所述N+掺杂区(43)和所述P+掺杂区(44)通过接触孔引出并连接在一起，作为所述器件的阳极，在所述P型阱(42)中设有N+掺杂区(45)和P+掺杂区(46)，所述N+掺杂区(45)和所述P+掺杂区(46)通过接触孔引出并连接在一起，作为所述器件的阴极，其特征在于：所述的静电放电防护SCR结构由P+掺杂区(44)、N型阱(41)、P型阱(42)、交叠区域(48)和N+掺杂区(45)所组成。