一种空心阴极弧室

摘要

本发明公开了一种空心阴极弧室，包括有空心柱状的放电阴极，放电阴极中心设置有阳极，放电阴极外套有电磁线圈，电磁线圈与放电阴极之间为真空绝缘层。当放电阴极形成放电后，由于外加线圈纵向磁场的作用，离子会在放电空间做轨迹为螺旋线的运动，这样就可以大大提高离子在到达阳极前与中性粒子的碰撞效率，进而提高放电空间的离化率，使得引出离子束的数密度大大提高。

主权项

一种空心阴极弧室，包括有空心柱状的放电阴极，所述放电阴极中心设置有与放电阴极中心轴线重合的杆形的阳极，其特征在于：所述放电阴极外套有电磁线圈，所述电磁线圈与放电阴极之间空隙抽真空形成真空绝缘层。