溅射离子泵用电源设备

摘要

公开了一种用于离子泵的电源设备，包括：开关元件，具有第一端、第二端和第三端；感测元件，与开关元件的第二端连接；升压变压器，包括初级和次级绕组，其中初级绕组的同名端和次级绕组的同名端极性相反，且初级绕组的一端连接到直流电源，另一端连接到开关元件的第三端；控制电路，基于初级绕组产生的反激电压和感测元件上的电压，产生要施加到开关元件的第一端的开关控制信号，开关元件在开关控制信号的控制下导通和断开，从而在升压变压器的次级绕组的输出端产生输出电压；整流电路，对变压器的次级绕组的输出端产生的输出电压进行滤波。该电源设备具备效率高，体积小，重量轻的优点，并且其功率范围符合溅射离子泵电源的功率要求。

主权项

一种用于离子泵的电源设备，包括：开关元件，具有第一端、第二端和第三端；感测元件，与所述开关元件的第二端连接；升压变压器，包括初级绕组和次级绕组，其中初级绕组的同名端和次级绕组的同名端的极性相反，并且初级绕组的一端连接到直流电源，另一端连接到开关元件的第三端；控制电路，基于初级绕组中产生的反激电压和感测元件上的电压，产生要施加到开关元件的第一端的开关控制信号，其中所述开关元件在所述开关控制信号的控制下导通和断开，从而在升压变压器的次级绕组的输出端产生输出电压；整流电路，对升压变压器的次级绕组的输出端产生的输出电压进行滤波。