一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法，该薄膜为氧化钒-碳纳米管复合膜，即由一维碳纳米管与两维氧化钒膜复合而成，构成红外探测器的热敏电阻材料及红外吸收材料。采用这种氧化钒-碳纳米管复合膜用于红外探测器的制作，克服了现有制造技术对敏感薄膜化学结构造成的负面影响，同时，还能够克服单纯的碳纳米管、或单纯的氧化钒材料在电学和光学等性能的不足，提高器件的综合性能。本发明公开的氧化钒-碳纳米管复合膜的制备方法简单，无需复杂、昂贵的成膜设备，降低了制造成本，提高了红外探测器的工作性能，适宜大规模产业化生产。

主权项

1.一种用于红外探测器的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①清洗衬底，吹干后备用；②碳纳米管功能化处理：把事先备好的碳纳米管放在烧杯中，采用化学处理的方式，在碳纳米管的表面引入官能团，然后，经过过滤、洗涤和干燥步骤，获得功能化的碳纳米管，备用；③氧化钒溶胶制备：将氧化钒粉末与有机溶剂相混合，加热反应，然后，通过离心分离，去除不溶物，将提取的上清液静置，再进行二次离心分离，如此反复，直至完全去除不溶物，获得没有沉淀的氧化钒有机溶胶，备用；④氧化钒与碳纳米管的反应：把经过步骤②功能化处理的碳纳米管与有机溶剂相混合，超声分散碳纳米管，形成碳纳米管的悬浮液，然后，把该碳纳米管悬浮液与步骤③制备的氧化钒溶胶相混合，搅拌分散，形成氧化钒与碳纳米管相混合的新溶胶；⑤复合膜制备：把步骤④制备的氧化钒与碳纳米管相混合的新溶胶旋涂在清洁的衬底表面，然后，经退火处理，蒸发掉有机溶剂，形成氧化钒-碳纳米管复合膜。