| 发明名称 | 用于磁盘溅射系统的磁性粒子捕集器 | ||
| 摘要 | 一种用于溅射系统的磁性粒子捕集器包括具有多个开口的滚筒覆盖板和捕集磁性粒子的多个磁体，所述多个开口被布置并且其尺寸被设计成容纳与所述溅射系统的机械传送机构关联的多个滚筒，所述多个磁体在与所述多个开口接近的位置附连到所述滚筒覆盖板上。 | ||
| 申请公布号 | CN101899643A | 申请公布日期 | 2010.12.01 |
| 申请号 | CN201010192558.6 | 申请日期 | 2010.05.27 |
| 申请人 | 西部数据传媒公司 | 发明人 | 陈金良;K·尼帕 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 一种用于溅射系统的磁性粒子捕集器，其包括：具有多个开口的滚筒覆盖板，所述多个开口被布置并且其尺寸被设计成容纳与所述溅射系统的机械传送机构关联的多个滚筒；以及捕集磁性粒子的多个磁体，所述多个磁体在与所述多个开口接近的位置附连到所述滚筒覆盖板上。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||