感光性树脂前体组合物

摘要

本发明涉及曝光后放置稳定性优异的、可碱显影的正型感光性树脂前体组合物。此外，本发明为一种感光性树脂前体组合物，其特征为包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物。式中R1表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种。n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数。其中p+q＞0。

主权项

1.一种感光性树脂前体组合物，其特征在于，包含100重量份的(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、式中R¹表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R²表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R³表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种，n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数，其中p+q＞0，0.01～50重量份的(b)2种或其以上的光产酸剂，其中，至少1种为分子量300～1500的醌二叠氮化合物，3～40重量份，至少1种为选自锍盐或重氮盐，0.05～10重量份，0.5～50重量份的(c)含有烷氧基甲基的化合物，所述化合物为含酚羟基的化合物和/或含有通式(2)表示的尿素类有机基团的化合物，式中，R⁴表示碳原子数为1到20的烷基。