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发明名称
Mikromekaaninen säädettävä Fabry-Perot -interferometri, välituote sekä menetelmä niiden valmistamiseksi
摘要
申请公布号
FI20095602(A)
申请公布日期
2010.11.30
申请号
FI20090005602
申请日期
2009.05.29
申请人
VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS
发明人
BLOMBERG, MARTTI
分类号
G01J3/26;G02B5/28
主分类号
G01J3/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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