| 发明名称 |
DARK FIELD INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL167352(A) |
申请公布日期 |
2010.11.30 |
| 申请号 |
IL20050167352 |
申请日期 |
2005.03.09 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD;APPLIED MATERIALS,INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N21/47;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G02B27/48 |
主分类号 |
G01N21/47 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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