发明名称 FILM FORMING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20100125464(A) 申请公布日期 2010.11.30
申请号 KR20107024142 申请日期 2009.01.23
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SHIMOMURA KOUJI;UENO TETSUJI;AOYAMA SHINTARO;NAKAMURA GENJI
分类号 H01L21/316;H01L21/205 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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