发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR MEMORY APPARATUS AND SEMICONDUCTOR MEMORY APPARATUS MANUFACTURED THEREBY
摘要
申请公布号 KR100997295(B1) 申请公布日期 2010.11.29
申请号 KR20080050940 申请日期 2008.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址