发明名称 OPTICAL ELEMENT, LITHOGRAPHIC APPARATUS INCLUDING SUCH AN OPTICAL ELEMENT, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY
摘要
申请公布号 KR20100124789(A) 申请公布日期 2010.11.29
申请号 KR20107021537 申请日期 2009.02.24
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 SOER WOUTER ANTHON;BANINE VADIM YEVGENYEVICH;MOORS JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA;VAN HERPEN MAARTEN MARINUS JOHANNES WILHELMUS;YAKURIN ANDREY MIKHAILOVICH
分类号 G02B5/20;G02B5/22;G03F7/20;G21K1/06 主分类号 G02B5/20
代理机构 代理人
主权项
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