| 摘要 |
1. Способ управления электронной пушкой типа Пирса, отличающийся тем, что осуществляют непосредственное измерение температуры внутри электронной пушки типа Пирса. ! 2. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что для непосредственного измерения используют термопару. ! 3. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что местоположения, где осуществляют непосредственное измерение, представляют собой анод и регистратор потока. ! 4. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что местоположение, где осуществляют непосредственное измерение, представляет собой любое из кольца, диафрагмы и трубы для выпуска, предусмотренных на входе или выходе любой одной из катодной камеры, промежуточной камеры и сканирующей камеры. ! 5. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что обратную связь результата измерения температуры внутри электронной пушкой типа Пирса осуществляют по скорости выпуска вакуумной системы выпуска. ! 6. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.5, отличающийся тем, что обратную связь по скорости выпуска осуществляют посредством использования отверстия диафрагмы, предусмотренной в вакуумной системе выпуска. ! 7. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.5, отличающийся тем, что обратную связь по скорости выпуска осуществляют посредством изменения скорости вращения насоса вакуумной системы выпуска. ! 8. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.5, отличающийся тем, что обратную связь по скорости выпуска осуществляют посредством изменения величины поток� |
