| 摘要 |
Es wird bereitgestellt eine Vorrichtung zum evaneszenten Beleuchten einer Probe, mit einer eine Korrekturoptik (3) und ein dieser nachgeordnetes Objektiv (4) aufweisenden Beleuchtungsoptik, um die Probe mit einem zugeführten Strahlenbundel, das optische Strahlung mit mindestens zwei verschiedenen Wellenlängen enthält, evaneszent zu beleuchten, wobei die Korrekturoptik (3) einen Farbquerfehler aufweist, der bei der Beleuchtung dazu führt, dass die optische Strahlung die Pupille (14) des Objektives (4) in Abhängigkeit der Wellenlänge in unterschiedlichen Höhen durchläuft, und der so gewählt ist, dass der wellenlängenbedingte Unterschied der Eindringtiefen der Strahlung in die Probe bei der evaneszenten Beleuchtung verringert ist. |
