发明名称 SCAN METHOD
摘要 <p>In general, in one aspect, the disclosure features a method and system for imaging of samples, for example, imaging samples with charged particles.</p>
申请公布号 WO2010135075(A1) 申请公布日期 2010.11.25
申请号 WO2010US33466 申请日期 2010.05.04
申请人 CARL ZEISS SMT INC.;WARD, BILLY, W. 发明人 WARD, BILLY, W.
分类号 H01J37/26;H01J37/28 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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