Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage

摘要

Der Erfindung, die eine Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Anlagenkammer betrifft, die statisch bestimmte Versteifungselemente umfasst, die mit Wandungen versehen sind, welche einen Vakuumraum einschließen, liegt die Aufgabe zugrunde, mit der Gestaltung einer Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage einerseits den gegensätzlichen technologischen Anforderungen gerecht zu werden und andererseits mit einem universalen Ansatz in der Kammerkonstruktion die Fertigungskosten für Anlagenkammern bei Anlagen mit starkem Wiederholcharakter zu beschränken. Dies wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Versteifungselemente außerhalb des Vakuumraumes angeordnet sind.