发明名称 |
MICROPUMP |
摘要 |
The invention relates to a displacement pump, constructed using microsystem technology, preferably used as a vacuum pump.
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申请公布号 |
CA2761999(A1) |
申请公布日期 |
2010.11.25 |
申请号 |
CA20102761999 |
申请日期 |
2010.05.11 |
申请人 |
BAYER TECHNOLOGY SERVICES GMBH |
发明人 |
MUELLER, JOERG;RAMIREZ WONG, REGULO MIGUEL |
分类号 |
F04B17/04;F04B19/00;F04F1/06;F04F99/00 |
主分类号 |
F04B17/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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