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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mit der sowohl eine quantitative ortsaufgelöste Nanolokal- und Verteilungsanalyse von Elementkonzentrationen einer Probe, als auch eine mikroskopische Erfassung der Oberflächentopographie im Nanometerbereich derselben Probe durchgeführt werden kann. Dazu wird die Probe auf einem Objektträger in eine Laserablationskammer eingebracht, und diese auf einem Scanningtisch eines lasergestützten Mikrodissektionssystems (LMD) angeordnet. Ein Teilbereich der Probe wird mit Hilfe eines vergrößernden Objektivs des LMD für die Untersuchung ausgewählt. Das Objektiv wird entfernt, ohne dass die x-y Position der Probe verändert wird, der defokussierte Laserstrahl des LMD wird in der Nähe der vom Laser bestrahlten ausgewählten Oberfläche der Probe an einer Metall aufweisenden Spitze im Nahfeld verstärkt, wobei die Metall aufweisende Spitze in der Nähe des Spots des auf die Oberfläche der Probe fokussierten Laserstrahls durch eine nicht mit dem LMD gekoppelten Positionseinrichtung positioniert wird. Ein Teil der Probe wird ablatiert und mit Hilfe eines ICP-MS analysiert. Die Topographie der Probenoberfläche wird vor und/oder nach der Laserablation mit Hilfe derselben Metall aufweisenden Spitze als Teil des AFM erfasst.
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