发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE102005026315(B4) 申请公布日期 2010.11.25
申请号 DE200510026315 申请日期 2005.06.07
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, SANG CHEOL
分类号 H01L21/336;H01L21/28;H01L21/8234;H01L21/8242 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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