发明名称 |
压差测量单元 |
摘要 |
一种压差测量单元(1),用于检测第一压力和第二压力之间的压力差,具有:弹性测量系统,其带有至少一个具有硅的测量薄膜(4,203,205);至少一个承载体(2,5,204),其与弹性测量系统压密地相连;第一液压路径,用于将第一压力传递到弹性测量系统的第一表面部分上;第二液压路径,用于将第二压力传递到弹性测量系统的第二表面部分上;其中第一压力与第二压力相对地作用,并且测量系统的弹性偏转是第一和第二压力之间的差的量度;其中压差测量单元还具有至少一个液压节流门(9,10,211),其特征在于,至少一个液压节流门包括多孔硅。 |
申请公布号 |
CN101896802A |
申请公布日期 |
2010.11.24 |
申请号 |
CN200880120505.4 |
申请日期 |
2008.12.12 |
申请人 |
恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
发明人 |
沃尔夫冈·丹豪尔;迈克尔·菲利普斯;弗里德里希·施瓦贝;迪特尔·施托尔塞;英·图安·塔姆 |
分类号 |
G01L9/00(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01L9/00(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
邹璐;樊卫民 |
主权项 |
压差测量单元(1;101;201),用于检测第一压力和第二压力之间的压力差,包括:‑弹性测量系统,其带有至少一个具有硅的测量薄膜(4;103;105;203;205);‑至少一个承载体(2;5;102;104;106;204),其与弹性测量系统压密地相连;‑第一液压路径,用于将第一压力传递到弹性测量系统的第一表面部分上;‑第二液压路径,用于将第二压力传递到弹性测量系统的第二表面部分上;其中第一压力与第二压力相对地作用,并且测量系统的弹性偏转是第一和第二压力之间的差的量度;其中压差测量单元还具有至少一个液压节流门(9;10;107;108;211),其特征在于,所述至少一个液压节流门包括多孔硅。 |
地址 |
德国毛尔堡 |