形状测量装置、形状测量方法以及程序

摘要

本发明提供一种能够安全地执行高精确度的定心的形状测量装置、形状测量方法以及程序。形状测量装置具有将作为旋转体的被测量物配置在第一位置处的控制部。控制部在第一位置处使触头跟踪被测量物的表面与X轴平行地移动，来获取第一测量曲线。控制部使被测量物以Z轴为中心旋转90度，来将被测量物配置到第二位置处。控制部在第二位置处使触头跟踪被测量物的表面与X轴平行地移动，来获取第二测量曲线。控制部分别对第一、第二测量曲线进行圆拟合，算出各圆的最大值在X轴方向的位置。控制部使被测量物沿X轴、Y轴方向移动使得最大值在X轴方向上的位置成为0。

主权项

一种形状测量装置，使作为旋转体的被测量物以第一轴为中心进行旋转，并且测量上述被测量物的各旋转角处的表面的位移，该形状测量装置的特征在于，具备：触头，其前端能够与上述被测量物相接触；第一配置单元，其将上述被测量物配置在第一位置处；第一测量单元，其在上述第一位置处使上述触头跟踪上述被测量物的表面与第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第一测量曲线，其中，上述第二轴与上述第一轴正交；第二配置单元，其使上述被测量物以上述第一轴为中心旋转90度，来将上述被测量物从上述第一位置配置到第二位置处；第二测量单元，其在上述第二位置处使上述触头跟踪上述被测量物的表面与上述第二轴平行地移动，测量沿着上述第二轴的各位置处的上述触头的位移量，来获取第二测量曲线；极值位置算出单元，其分别对上述第一测量曲线和第二测量曲线进行圆拟合，算出表示各圆的极值的第一极值和第二极值在上述第二轴方向上的位置；以及移动单元，其使上述被测量物沿与上述第二轴平行的方向以及与第三轴平行的方向移动，使得上述第一极值和上述第二极值在上述第二轴方向上的位置成为0，其中，上述第三轴与上述第一轴和上述第二轴正交。