单晶炉籽晶原点开关装置

摘要

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉籽晶原点开关。一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。本实用新型通过光电传感器确认原点到位，实现了精确的原点复位功能，彻底解决了原手动作业产生的复点复位精度低、可靠性差的问题，通过波纹管自身的弹性变形确保真空密封情况下连接调整，降低安装难度，实现了快捷的籽晶部件水平调节。

主权项

一种单晶炉籽晶原点开关装置，包括法兰座、真空法兰和支撑柱；所述法兰座固定在单晶炉的炉顶盖上，所述支撑柱的下端固定在炉顶盖上，支撑柱的上端通过调节螺杆与籽晶部件相接触，所述调节螺杆上设有调节螺母，其特征是：所述真空法兰为波纹管伸缩真空法兰，真空法兰的下端安装在法兰座的上端，真空法兰的上端安装在籽晶部件上，所述法兰座的侧面安装有光电传感器。