大幅面精密激光刻线和打点的设备

摘要

本实用新型提供一种大幅面精密激光刻线和打点的设备，在激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有动态聚焦镜，动态聚焦镜的输出端连接有振镜；激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出平行光束，平行光束经动态聚焦镜聚焦后进入振镜，光束焦点分布在真空吸附平台的加工工件上。本实用新型技术方案采用动态聚焦镜使激光加工面为平面，高效的路径规划算法使一万个图形元素的规划在25秒内完成，几分钟内完成高效高精度的激光刻线或打点加工。该设备的加工幅面可达25万平方毫米，实现打点和刻线加工一次性完成，速度快、精度高，适用于对ITO的玻璃或者是膜类进行加工。

主权项

大幅面精密激光刻线和打点的设备，包括激光器和扩束镜，其特征在于：所述激光器的输出端设置扩束镜，所述扩束镜的输出端布置有动态聚焦镜，所述动态聚焦镜的输出端连接有振镜；所述激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出平行光束，平行光束经动态聚焦镜聚焦后进入振镜，光束焦点位于真空吸附平台的加工工件上。