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发明名称
Gas cluster ion beam emitting apparatus and method for ionization of gas cluster
摘要
申请公布号
EP1667198(B1)
申请公布日期
2010.11.24
申请号
EP20050026017
申请日期
2005.11.29
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
SAITO, TETSURO;SHOJI, TATSUMI;FUKUMIYA, YOICHI
分类号
H01J37/317;H01J23/08;H01J37/08
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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