光刻装置和器件制造方法

摘要

公开了一种光刻装置，其具有与基底台隔开地形成的盖板和通过控制该盖板的温度来稳定基底台的温度的装置。公开了一种光刻装置，其具有布置在盖板和基底台之间的热绝缘体，使得该盖板用作基底台的热屏蔽。公开了一种光刻装置，其包括确定基底台的变形并参考该基底台的变形来改善对基底位置控制的装置。

主权项

一种光刻装置，包括：布置成支撑基底的基底台；配置成将调制过的辐射光束投影到基底上的投影系统；配置成在曝光过程中将液体提供到投影系统和基底之间的区域中的液体供给系统；与基底台物理地隔开的盖板，其在曝光过程中沿径向定位在基底的外侧，并配置成提供面对投影系统的表面，该表面与基底基本上相邻且平齐；以及热绝缘体，其布置成减小所述盖板和基底台之间的传热，以便由盖板来提供对基底台的热屏蔽。