发明名称 绝缘栅E模式晶体管
摘要 本文描述了一种增强模式III族氮化物晶体管,其具有截止状态下的大的源极到漏极势垒、低的截至状态泄漏、和接入区中的低沟道电阻。该器件可以包括在栅极下面的电荷耗尽层和/或在栅极区外面即在接入区中的电荷增强层。
申请公布号 CN101897029A 申请公布日期 2010.11.24
申请号 CN200880120050.6 申请日期 2008.11.26
申请人 特兰斯夫公司 发明人 徐昌秀;伊兰·本-雅各布;罗伯特·科菲;乌梅什·米什拉
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/768(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/00(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 孙志湧;穆德骏
主权项 一种III族氮化物HEMT器件,包括:栅极电极;源极电极和漏极电极;一系列III族氮化物层,其形成具有与所述源极电极和漏极电极形成欧姆接触的最上层的N面堆叠;以及沟道耗尽部分,其在所述栅极电极与所述N面堆叠的所述最上层之间,其中,所述沟道耗尽部分未一直延伸到所述源极电极。
地址 美国加利福尼亚州