发明名称 |
绝缘栅E模式晶体管 |
摘要 |
本文描述了一种增强模式III族氮化物晶体管,其具有截止状态下的大的源极到漏极势垒、低的截至状态泄漏、和接入区中的低沟道电阻。该器件可以包括在栅极下面的电荷耗尽层和/或在栅极区外面即在接入区中的电荷增强层。 |
申请公布号 |
CN101897029A |
申请公布日期 |
2010.11.24 |
申请号 |
CN200880120050.6 |
申请日期 |
2008.11.26 |
申请人 |
特兰斯夫公司 |
发明人 |
徐昌秀;伊兰·本-雅各布;罗伯特·科菲;乌梅什·米什拉 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/768(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
孙志湧;穆德骏 |
主权项 |
一种III族氮化物HEMT器件,包括:栅极电极;源极电极和漏极电极;一系列III族氮化物层,其形成具有与所述源极电极和漏极电极形成欧姆接触的最上层的N面堆叠;以及沟道耗尽部分,其在所述栅极电极与所述N面堆叠的所述最上层之间,其中,所述沟道耗尽部分未一直延伸到所述源极电极。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |