磁性传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种磁性传感器及其制作方法。该磁性传感器同时具有多个轴，能够通过少量的步骤来制作。该磁性传感器包括：基板；以及多个传感器电桥电路，该多个传感器电桥电路的每一个包括布置在该基板上的磁场探测器对和固定电阻器对，该磁场探测器对和该固定电阻器对连接以形成电桥电路，该磁场探测器的每一个是由磁致电阻效应元件形成，且该磁场探测器的磁化方向按三维方式彼此相交。该基板具有多个倾斜表面，该倾斜表面的法线方向按三维方式彼此相交，且该传感器电桥电路的每一个中的该磁场探测器对布置在同一倾斜表面上。

主权项

一种磁性传感器，包括：基板；以及多个传感器电桥电路，所述多个传感器电桥电路的每一个包括布置在所述基板上的磁场探测器对和固定电阻器对，所述磁场探测器对和所述固定电阻器对连接以形成电桥电路，所述磁场探测器的每一个是由磁致电阻效应元件形成，且所述磁场探测器的磁化方向按三维方式彼此相交，其中所述基板具有多个倾斜表面，且所述倾斜表面的法线方向按三维方式彼此相交，以及所述传感器电桥电路的每一个中的所述磁场探测器对布置在同一倾斜表面上。