| 发明名称 | 半导体专用设备晶片旋转台装置 | ||
| 摘要 | 提供一种半导体专用设备晶片旋转台装置，涉及半导体专用设备用晶片旋转装置技术领域。包括真空吸盘、转轴、电机及机械传动装置，真空吸盘固定在转轴上端面，转轴采用一端固定一端游动支撑，通过两个角接触球轴承和一个深沟球轴承安装在在轴承套中，转轴下方与电机及机械传动装置连接，轴承套和座体相固定。本发明的积极效果是：能有效解决现有技术中存在的问题，与现有技术相比，具有结构紧凑，运转平稳、加工质量高、密封性好、使用方便、寿命长等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101894784A | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN201010195940.2 | 申请日期 | 2010.06.10 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 发明人 | 王仲康;袁立伟;王欣 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人 | 张贰群 |
| 主权项 | 一种半导体专用设备晶片旋转台装置，包括真空吸盘(1)、转轴(6)、电机及机械传动装置，其特征在于真空吸盘(1)固定在转轴(6)上端面，转轴(6)采用一端固定一端游动支撑在轴承套(10)内，转轴(6)下方与电机及机械传动装置连接，轴承套(10)和座体相固定；转轴(6)的下方接有和真空装置相连的旋转接头。 | ||
| 地址 | 065201 河北省三河市燕郊开发区北京东燕郊开发区海油大街20号 | ||