类富勒烯碳膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种高弹性、低摩擦类富勒烯碳膜的制备方法。本发明采用复合气相沉积系统，利用脉冲高偏压与磁控溅射相结合的方法制备。制备出的类富勒烯碳膜具有原子量级的表面光洁度、较低的摩擦系数、较高的硬度以及良好的弹性恢复性能。因此适用于高精度空间运动部件、微机电系统的润滑，并有望成为一种长寿命、低摩擦的减摩抗磨固体润滑薄膜。

主权项

一种类富勒烯碳膜的制备方法，采用复合气相沉积系统，利用脉冲高偏压与磁控溅射相结合的方法制备，其特征在于靶材选取纯度高于99.999％的石墨；磁控溅射电源选用功率为10KW的交流中频电源；脉冲电源选用6KV高压电源；沉积时石墨靶为阴极，溅射气体为高纯Ar气和CH4混合气体，气压为0.5Pa，Ar气与CH4气的体积比为1∶1；溅射电流为2.5A；金属底材连接(-1000)-(-2000V)脉冲负偏压；沉积温度控制在100-120℃，制备出厚度为500nm的类富勒烯碳膜。