电泳式显示器、主动元件阵列背板及其制造方法

摘要

一种电泳式显示器、主动元件阵列背板及其制造方法，其中该主动元件阵列背板包含基板、第一金属层、介电层、第二金属层、半导体通道区及保护层，第一金属层设置于该基板上并被图样化，该第一金属层包含栅极、下电极、第一栅极引线和第一共通电极，介电层覆盖于该栅极和该下电极，第二金属层设置于该基板上并被图样化，该第二金属层包含源极及漏极、上电极、第二栅极引线、数据引线和第二共通电极，半导体通道区及保护层依次设置于该源极及该漏极上。通过本发明，可以仅采用四道光罩制程，且制程温较低，可同时适用于塑料基板及玻璃基板。

主权项

一种主动元件阵列背板，其特征在于包含：基板，包含薄膜晶体管区、储存电容区、扫描线区、数据线区和共通区；第一金属层，设置于该基板上并被图样化，该第一金属层包含设置于该薄膜晶体管区的栅极、设置于该储存电容区的下电极、设置于该扫描线区的第一栅极引线和设置于该共通区的第一共通电极；介电层，覆盖于该栅极和该下电极；第二金属层，设置于该基板上并被图样化，该第二金属层包含设置于该薄膜晶体管区的源极及漏极、设置于该储存电容区的上电极、设置于该扫描线区的第二栅极引线、设置于该数据线区的数据引线和设置于该共通区的第二共通电极，其中该上电极与该下电极夹着该介电层而形成储存电容，该储存电容与该源极相接，该数据引线垂直于该栅极引线且与该漏极相接；半导体通道区及保护层，依次设置于该源极及该漏极上。