包括经成型衬底的可以塌陷模式工作的CMUT

摘要

提供了一种能够在具有减小的偏置电压或者无偏置电压情况下以塌陷模式工作的电容式超声换能器。该换能器包括衬底，对该衬底成型使得在不存在偏置电压时柔性隔膜的中间区域向该衬底塌陷。不可塌陷的间隙可以存在于衬底和柔性隔膜的外围区域之间。衬底的轮廓可以是这样的，其拉紧柔性隔膜越过塌陷点、或者机械干扰柔性隔膜。衬底可以包括置于柔性隔膜之下的另一个隔膜，对该另一个隔膜成型使得柔性隔膜向它塌陷。衬底还可以包括置于该另一个隔膜之下、使该另一个隔膜的相应部分向上朝向柔性隔膜偏移的支撑物。该支撑物可以是柱。与显示出可比的未成型衬底的其它类似常规换能器相比，该换能器可以以改进的效率(k2eff)工作在塌陷模式中。提供了相关医疗成像系统，其可以包括置于公共衬底上的这种换能器的阵列。提供了操作这种换能器的方法，该方法包括在不存在偏置电压时在塌陷模式中操作换能器。

主权项

一种电容式超声换能器，包括：衬底；以及柔性隔膜，所述柔性隔膜包括外围区域和在所述外围区域之间延伸的中间区域，其中沿着所述外围区域将所述柔性隔膜安装到所述衬底；其中，对所述衬底成型，使得在不存在偏置电压时所述柔性隔膜在所述中间区域的附近处向所述衬底塌陷，从而允许所述换能器在具有减小的偏置电压或者无偏置电压的情况下以塌陷模式工作。