| 发明名称 | 成膜装置的掩模对位机构以及成膜装置 | ||
| 摘要 | 一种成膜装置的掩模对位机构和成膜装置。成膜装置的掩模对位机构是在成膜装置内配设掩模夹具(22)，在上述掩模夹具(22)承载上述掩模(26)时的成膜装置的掩模(26)对位机构，上述掩模夹具(22)是具有对应于上述掩模(26)的缘部且自上述掩模(26)的侧方被延设的延设部(22a)、以及在上述延设部(22a)被设置的嵌合销(22b)，上述掩模(26)是为具备在其上述缘部与上述掩模夹具(22)的上述嵌合销(22b)嵌合的嵌合孔(26c)的构成。 | ||
| 申请公布号 | CN101090997B | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN200680001596.0 | 申请日期 | 2006.02.22 |
| 申请人 | 三井造船株式会社;长州产业株式会社 | 发明人 | 片冈达哉;长尾兼次;齐藤谦一 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 一种成膜装置的掩模对位机构，其是在成膜装置内配设掩模夹具并且在上述掩模夹具承载上述掩模之时的成膜装置的掩模对位机构，其特征在于：设置有相对于成膜对象基板进行掩模的对准操作的第一掩模夹具，且设置有配设于所述成膜装置进行定位的第二掩模夹具，上述第二掩模夹具具有将上述掩模的缘部支承的延设部、以及设置在上述延设部上且具备比上述掩模缘部的厚度低的高度的嵌合销；上述掩模在上述缘部具备与设置在上述第二掩模夹具的上述嵌合销嵌合的嵌合孔。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||