| 发明名称 | 掩模盒和传送盒内的光刻掩模以及扫描盒内的掩模的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种盒，它能把掩模(MA)封闭起来。该盒(70)对于至少一个预定波长的辐射至少是部分透明的，而且是按这样的方式构成，使得可以利用该波长的光从掩模(MA)的盒(70)的外面得到象。盒(70)的透明部分可由下列材料中的至少一种制成：玻璃、有机玻璃。 | ||
| 申请公布号 | CN1512273B | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN200310123553.8 | 申请日期 | 2003.12.26 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | G·-J·希伦斯 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种盒，它能封闭掩模(MA)，其特征在于：该盒(70)的至少一部分对于至少一个预定波长是透明的，它是被按这样的方式构成的，使得可以利用所述波长的光从掩模(MA)的盒(70)外面得到象，该盒包括底部(71)和顶部(72)，该底部和顶部(71，72)各包括一些连接件(74)，其中底部(71)的连接件(74)与顶部(32)的连接件(74)相连接，底部和/或顶部(71，72)的连接件(74)至少部分是多孔性的，以便可以均衡盒内外的压力差。 | ||
| 地址 | 荷兰维尔德霍芬 | ||