气体组成异常判断方法以及放电激励气体激光振荡器

摘要

本发明提供一种气体组成异常判断方法以及放电激励气体激光振荡器，该振荡器具备：放电激励单元、高频电源单元以及控制单元，特征为具备：在激光振荡器的调试时在激光气体通过比常规运转时的高的压力低的压力开始放电激励之后，在比常规运转时的高的压力低的任意的压力下，对向放电管提供的高频电源单元的实际的输出电流值进行检测的输出检测部；将检测到的实际的输出电流值与在激光气体的气体组成为正常时，在与检测到实际输出电流值的压力相同的压力下检测到的正常输出电流值进行比较的输出比较部；以及在实际的输出电流值与正常输出电流值的差分为设定值以上时，判断激光气体的气体组成为异常，停止高频电源单元的输出的电源控制部。

主权项

一种在激光振荡器(1)的放电管(7)内被放电激励的激光气体的气体组成异常判断方法，其特征在于，具备如下步骤：在所述激光振荡器(1)进行调试时，所述激光气体在比常规运转时的高的压力低的压力下开始了放电激励后，在比所述常规运转时的高的压力低的任意压力下，对向所述放电管(7)提供的高频电源单元(3)的实际输出值进行检测的步骤；将检测到的所述实际输出值、和在所述激光气体的气体组成为正常时在与检测到所述实际输出值的压力相同的压力下所检测出的正常输出值进行比较的步骤；以及在所述实际输出值与所述正常输出值的差分为设定值以上时，判断为所述激光气体的气体组成是异常。