发明名称 METHOD FOR PURIFYING SILICON CARBIDE STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1791799(B1) 申请公布日期 2010.11.24
申请号 EP20050763307 申请日期 2005.03.30
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 SHIVE, LARRY WAYNE;GILMORE, BRIAN L.
分类号 H01L21/00;C04B41/91;C04B41/53 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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