化学机械研磨用金刚石修整器

摘要

本实用新型公开以了一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮，所述磨轮上设有金刚石研磨面，金刚石研磨面包括外环面、中环面和内环面，外环面和内环面的径向截面为圆弧形，中环面为平面，外环面、中环面和内环面依次相接形成金刚石研磨面，金刚石研磨面上沿磨轮径向还设有多个凹槽，多个凹槽均匀分布在金刚石研磨面上。弧面和平面的结合，既能提高金刚石的利用率，提高修正质量，也延长了金刚石修整器的使用寿命。凹槽能够容纳磨削时所产生的碎屑或者粉末，并方便碎屑或者粉末的及时排除。本实用新型在改善使用寿命的同时，还有效地保持了圆弧型结构的“缓冲进给”的效果，确保了研磨垫的正常使用，避免了研磨垫的非正常损坏。

主权项

一种化学机械研磨用金刚石修整器，包括磨轮(1)，所述磨轮(1)上设有金刚石研磨面，其特征在于：所述金刚石研磨面包括外环面(2)、中环面(3)和内环面(4)，外环面(2)和内环面(4)的径向截面为圆弧形，中环面(3)为平面，外环面(2)、中环面(3)和内环面(4)依次相接形成金刚石研磨面。