硅片多线切割机接地检测系统及其检测电极

摘要

本实用新型公开了一种检测电极，用于硅片多线切割机接地检测系统，包括电极杆以及位于所述电极杆两端的支撑板，所述支撑板之间设有两根上、下间隔且相互平行的电极杆，所述两根电极杆在电路上相串联。该检测电极可同时固定上、下两根金属电极杆，线网可在两根金属电极杆之间穿过，两根金属电极杆将线网夹持在中间，可增加线网断线后其钢线与金属电极杆的接触概率，使检测更加灵敏，能够从根本上解决多线切割机一直存在的断线损失问题。本实用新型还公开了一种包括上述检测电极的硅片多线切割机接地检测系统。

主权项

一种检测电极，用于硅片多线切割机接地检测系统，包括电极杆以及位于所述电极杆两端的支撑板，其特征在于，所述支撑板之间设有两根上、下间隔且相互平行的电极杆。