发明名称 反射镜的调整机构
摘要 一种反射镜的调整机构,包括固定座,其容纳反射镜;设在固定座上的法向可调固定部,其将固定座固定至基部,法向可调固定部在固定座上形成经过固定座的中心的对称轴,并且使得对称轴可沿反射镜的法向移动;沿对称轴设置的粗调部,其调整固定座相对于对称轴的倾角;沿对称轴设置的精调部,其调整固定座相对于对称轴的倾角;其中,粗调部的倾角调整范围大于精调部的倾角调整范围。本实用新型的反射镜调整机构采用相对于对称轴均布的多点调整,通过调整两侧的粗调螺钉与微调螺钉以及支点在反射镜法向方向的位置即可调整反射镜在光路中的位置,其结构简单,调整效率高,光路光斑容易控制,机械结构可随反射镜的大小变化,不受空间的限制。
申请公布号 CN201654310U 申请公布日期 2010.11.24
申请号 CN201020120284.5 申请日期 2010.02.26
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 张春莲;徐兵;蔡巍;陈跃飞;王端秀
分类号 G02B7/198(2006.01)I 主分类号 G02B7/198(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种反射镜的调整机构,其特征在于,包括:固定座,其容纳所述反射镜;设在所述固定座上的法向可调固定部,其将所述固定座固定至基部,所述法向可调固定部在所述固定座上形成经过所述固定座中心的对称轴,并且使得所述对称轴可沿所述反射镜的法向移动;沿所述对称轴设置的粗调部,其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角;沿所述对称轴设置的精调部,其调整所述固定座的相对于所述对称轴的倾角;其中,所述粗调部的倾角调整范围大于所述精调部的倾角调整范围。
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