发明名称 液体回收装置及显影设备
摘要 本实用新型公开了一种液体回收装置及显影设备,涉及显示技术领域,能够解决现有技术中显影液的回收率偏低的问题。所述液体回收装置,包括支架和设于所述支架上的传送辊子,所述支架上设有平行于所述传送辊子的单侧刮液气刀。本实用新型适用于液晶面板及半导体等制造行业中。
申请公布号 CN201654457U 申请公布日期 2010.11.24
申请号 CN201020201731.X 申请日期 2010.05.19
申请人 北京京东方光电科技有限公司 发明人 剧永波;张学智;宋瑞涛;苏九端;焦宇
分类号 G03F7/30(2006.01)I 主分类号 G03F7/30(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种液体回收装置,包括支架和设于所述支架上的传送辊子,其特征在于,所述支架上设有平行于所述传送辊子的单侧刮液气刀。
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