发明名称 | 液体回收装置及显影设备 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种液体回收装置及显影设备,涉及显示技术领域,能够解决现有技术中显影液的回收率偏低的问题。所述液体回收装置,包括支架和设于所述支架上的传送辊子,所述支架上设有平行于所述传送辊子的单侧刮液气刀。本实用新型适用于液晶面板及半导体等制造行业中。 | ||
申请公布号 | CN201654457U | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
申请号 | CN201020201731.X | 申请日期 | 2010.05.19 |
申请人 | 北京京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 剧永波;张学智;宋瑞涛;苏九端;焦宇 |
分类号 | G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/30(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
主权项 | 一种液体回收装置,包括支架和设于所述支架上的传送辊子,其特征在于,所述支架上设有平行于所述传送辊子的单侧刮液气刀。 | ||
地址 | 100176 北京市经济技术开发区西环中路8号 |