发明名称 基板检测设备
摘要 本实用新型公开了一种基板检测设备。其包括:检测框架,设置于检测框架上的测试探针,测试探针的连接端与检测框架连接,测试探针的针头通过与待检测的玻璃基板周边的信号线接触向待检测的玻璃基板上形成的TFT像素阵列电路加入检测信号,以及在TFT像素阵列电路上方移动、对加入检测信号的TFT像素阵列电路进行电学检测的检测部件,测试探针朝向TFT像素阵列电路倾斜,与检测框架呈一锐角,用于增加检测部件与检测框架间的距离。本实用新型提供的基板检测设备,使测试探针为最靠近玻璃基板上形成的TFT像素阵列电路的部件,避免了在玻璃基板使用率很高的情况下,检测框架与检测部件的撞击摩擦,从而使得检测部件不易被损坏。
申请公布号 CN201654182U 申请公布日期 2010.11.24
申请号 CN201020151929.1 申请日期 2010.04.06
申请人 北京京东方光电科技有限公司 发明人 赵海生;葛兴;卜云龙
分类号 G01R31/28(2006.01)I 主分类号 G01R31/28(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 刘芳
主权项 一种基板检测设备,包括:检测框架,设置于所述检测框架上的测试探针,所述测试探针的连接端与所述检测框架连接,所述测试探针的针头通过与待检测的玻璃基板周边的信号线接触向所述待检测的玻璃基板上形成的TFT像素阵列电路加入检测信号,以及在所述TFT像素阵列电路上方移动、对加入所述检测信号的所述TFT像素阵列电路进行电学检测的检测部件,其特征在于,所述测试探针朝向所述TFT像素阵列电路倾斜,与所述检测框架呈一锐角,用于增加所述检测部件与所述检测框架间的距离。
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