| 发明名称 | 对数据库进行光学邻近修正的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种对数据库进行光学邻近修正的方法，该方法包括：对经过第一次修正之后，不符合要求的图形的部分数据库进行再次修正；将再次修正之后的不符合要求的图形的部分数据库，与经过第一次修正的数据库进行合并；输出最终数据库。采用该方法能够大大提高修正数据库的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101893821A | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN200910085447.2 | 申请日期 | 2009.05.22 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 张飞;王伟斌 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 牛峥;王丽琴 |
| 主权项 | 一种对数据库进行光学邻近修正的方法，该方法包括：对经过第一次修正之后，不符合要求的图形的部分数据库进行再次修正；将再次修正之后的不符合要求的图形的部分数据库，与经过第一次修正的数据库进行合并；输出合并后的数据库。 | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号 | ||