具有实时监测的基于达曼光栅的飞秒激光并行微加工装置

摘要

一种具有实时监测的基于达曼光栅的飞秒激光并行微加工装置，特点是基于达曼光栅的分束特性来进行飞秒激光并行微加工，可大大提高飞秒激光加工的效率，同时利用CCD探测器来实时观察监测加工过程。本发明在飞秒激光微加工方面有很好的应用前景。

主权项

一种具有实时监测的基于达曼光栅的飞秒激光并行微加工装置，其特征在于该装置包括激光光源(1)、第一半透半反镜(2)、第一针孔滤波器(3)、第一准直透镜(4)、达曼光栅(5)、聚光透镜(6)、二向色镜(7)、样品(8)、移动平台(9)、BBO晶体(10)、全反射镜(11)、第二针孔滤波器(12)、第二准直透镜(13)、二向色镜(14)、滤光片(15)和光电探测器(16)，上述零部件的位置关系如下：从所述的激光光源(1)出射的飞秒激光，经所述的第一半透半反镜(2)分成透射光束和反射光束，所述的透射光束经所述的第一针孔滤波器(3)滤波扩束为发散的球面波，经所述的第一准直透镜(4)变成平面波光束，此平面波光束经过所述的达曼光栅(5)后形成不同衍射方向的多个平面波光束，随后经所述的聚光透镜(6)变成多束会聚光束，该多束会聚光束经过所述的二向色镜(7)反射后形成间距相等的会聚光点阵，聚焦在置于移动平台(9)上的样品(8)表面上进行多光束加工，所述的反射光束经BBO晶体(10)倍频后，经全反射镜(11)反射进入第二针孔滤波器(12)滤波扩束为发散的球面波，扩束后经第二准直透镜(13)变换成准直平面波光束，此平面波光束经第二半透半反镜(14)反射后，经二向色镜(7)照射在所述的样品(8)的表面，经样品表面反射后形成携带有样品信息的物光束，经二向色镜(7)、第二半透半反镜(14)和滤光片(15)透射后进入光电探测器(16)，用于实时监测样品的被加工过程。