平面度检测装置

摘要

本实用新型提供一种平面度检测装置，用于检测导电待测物的平面度。平面度检测装置包括基座以及检测件。导电待测物设置于基座。检测件沿第一方向可滑动地设置于基座。检测件具有导电部。导电待测物位于基座与导电部之间。导电部在第二方向上的长度大于或等于导电待测物在第二方向上的长度。第二方向垂直于第一方向。导电部与基座之间具有预设距离，预设距离为导电待测物的厚度与平面度限定值之和。

主权项

一种平面度检测装置，用于检测导电待测物的平面度，其特征是，上述平面度检测装置包括：基座，上述导电待测物设置于上述基座；以及检测件，其沿第一方向可滑动地设置于上述基座，上述检测件具有导电部，上述导电待测物位于上述基座与上述导电部之间，上述导电部在第二方向上的长度大于或等于上述导电待测物在上述第二方向上的长度，上述第二方向垂直于上述第一方向，且上述导电部与上述基座之间具有预设距离，上述预设距离为上述导电待测物的厚度与平面度限定值之和。