发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SILICON
摘要
申请公布号 EP1394111(B1) 申请公布日期 2010.11.24
申请号 EP20020733355 申请日期 2002.06.06
申请人 TOKUYAMA CORPORATION 发明人 WAKAMATSU, SATORU;ODA, HIROYUKI
分类号 C01B33/035 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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