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发明名称 NON-SELECTIVE OXIDE ETCH WET CLEAN COMPOSITION AND METHOD OF USE
摘要
申请公布号 KR20100123757(A) 申请公布日期 2010.11.24
申请号 KR20107022346 申请日期 2009.03.06
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS INC 发明人 SONTHALIA PRERNA;COOPER EMANUEL;MINSEK DAVID;ZHANG PENG;PETRUSKA MELISSA A.;SERKE BRITTANY;HURD TRACE QUENTIN
分类号 C09K13/08;C11D7/32;C23F1/10 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
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