| 发明名称 | 等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。本发明可以防止载板摔落，提高载板传输的安全性，从而有效降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101893879A | 申请公布日期 | 2010.11.24 |
| 申请号 | CN201010195683.2 | 申请日期 | 2010.06.01 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 王永贵 |
| 分类号 | G05B19/418(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;C23C16/00(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/418(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 | ||